Bei Kurzwellen-Infrarot (SWIR) handelt es sich um eine speziell entwickelte optische Linse, die dazu dient, kurzwelliges Infrarotlicht einzufangen, das für das menschliche Auge nicht direkt wahrnehmbar ist. Dieses Band wird üblicherweise als Licht mit Wellenlängen zwischen 0,9 und 1,7 Mikrometern bezeichnet. Das Funktionsprinzip der kurzwelligen Infrarotlinse hängt von den Übertragungseigenschaften des Materials für eine bestimmte Lichtwellenlänge ab. Mithilfe spezieller optischer Materialien und Beschichtungstechnologie kann die Linse kurzwelliges Infrarotlicht effizient leiten und gleichzeitig sichtbares Licht unterdrücken Licht und andere unerwünschte Wellenlängen.
Zu seinen Hauptmerkmalen gehören:
1. Hohe Transmission und spektrale Selektivität:SWIR-Linsen nutzen spezielle optische Materialien und Beschichtungstechnologien, um eine hohe Durchlässigkeit im kurzwelligen Infrarotband (0,9 bis 1,7 Mikrometer) zu erreichen und verfügen über eine spektrale Selektivität, die die Identifizierung und Leitung spezifischer Wellenlängen von Infrarotlicht und die Unterdrückung anderer Lichtwellenlängen erleichtert .
2. Chemische Korrosionsbeständigkeit und thermische Stabilität:Das Material und die Beschichtung der Linse weisen eine hervorragende chemische und thermische Stabilität auf und können die optische Leistung auch unter extremen Temperaturschwankungen und verschiedenen Umgebungsbedingungen aufrechterhalten.
3. Hohe Auflösung und geringe Verzerrung:SWIR-Objektive weisen eine hohe Auflösung, geringe Verzerrung und schnelle optische Eigenschaften auf und erfüllen die Anforderungen einer hochauflösenden Bildgebung.
Kurzwellen-Infrarotlinsen werden in großem Umfang im Bereich der industriellen Inspektion eingesetzt. Beispielsweise können SWIR-Linsen im Halbleiterfertigungsprozess Fehler in Siliziumwafern erkennen, die unter sichtbarem Licht nur schwer zu erkennen sind. Die Kurzwellen-Infrarot-Bildgebungstechnologie kann die Genauigkeit und Effizienz der Wafer-Inspektion steigern, wodurch die Herstellungskosten gesenkt und die Produktqualität verbessert werden.
Bei der Inspektion von Halbleiterwafern spielen kurzwellige Infrarotlinsen eine entscheidende Rolle. Da kurzwelliges Infrarotlicht Silizium durchdringen kann, ermöglicht diese Eigenschaft kurzwelligen Infrarotlinsen die Erkennung von Defekten in Siliziumwafern. Beispielsweise kann der Wafer aufgrund von Restspannungen während des Produktionsprozesses Risse aufweisen, und wenn diese Risse nicht erkannt werden, wirken sie sich direkt auf die Ausbeute und die Herstellungskosten des endgültigen IC-Chips aus. Durch den Einsatz kurzwelliger Infrarotlinsen können solche Fehler effektiv erkannt werden, wodurch die Produktionseffizienz und die Produktqualität gesteigert werden.
In der Praxis können kurzwellige Infrarot-Objektive kontrastreiche Bilder liefern, die selbst kleinste Defekte deutlich sichtbar machen. Der Einsatz dieser Erkennungstechnologie erhöht nicht nur die Erkennungsgenauigkeit, sondern reduziert auch die Kosten und den Zeitaufwand für die manuelle Erkennung. Dem Marktforschungsbericht zufolge steigt die Nachfrage nach kurzwelligen Infrarotlinsen im Halbleitererkennungsmarkt von Jahr zu Jahr und dürfte in den kommenden Jahren einen stabilen Wachstumskurs beibehalten.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 18. November 2024