Kurzwelliges Infrarot (SWIR) ist eine speziell entwickelte optische Linse, die kurzwelliges Infrarotlicht einfängt, das für das menschliche Auge nicht direkt wahrnehmbar ist. Dieses Spektrum wird üblicherweise als Licht mit Wellenlängen von 0,9 bis 1,7 Mikrometern bezeichnet. Das Funktionsprinzip der Kurzwellen-Infrarotlinse beruht auf den Transmissionseigenschaften des Materials für eine bestimmte Lichtwellenlänge. Mithilfe spezieller optischer Materialien und Beschichtungstechnologie kann die Linse kurzwelliges Infrarotlicht effizient leiten und gleichzeitig sichtbares Licht und andere unerwünschte Wellenlängen unterdrücken.
Seine Hauptmerkmale umfassen:
1. Hohe Transmission und spektrale Selektivität:SWIR-Linsen nutzen spezielle optische Materialien und Beschichtungstechnologien, um eine hohe Transmission im kurzwelligen Infrarotbereich (0,9 bis 1,7 Mikrometer) zu erreichen. Zudem verfügen sie über eine spektrale Selektivität, die die Erkennung und Weiterleitung bestimmter Wellenlängen des Infrarotlichts sowie die Unterdrückung anderer Wellenlängen des Lichts erleichtert.
2. Chemische Korrosionsbeständigkeit und thermische Stabilität:Das Material und die Beschichtung der Linse weisen eine hervorragende chemische und thermische Stabilität auf und können die optische Leistung auch bei extremen Temperaturschwankungen und unterschiedlichen Umweltbedingungen aufrechterhalten.
3. Hohe Auflösung und geringe Verzerrung:SWIR-Objektive zeichnen sich durch hohe Auflösung, geringe Verzerrung und schnelle Reaktionszeiten aus und erfüllen so die Anforderungen an die hochauflösende Bildgebung.
Kurzwellige Infrarotobjektive werden häufig in der industriellen Inspektion eingesetzt. Beispielsweise können SWIR-Objektive im Halbleiterherstellungsprozess Fehler in Siliziumwafern erkennen, die unter sichtbarem Licht nur schwer zu erkennen sind. Kurzwellige Infrarot-Bildgebungstechnologie kann die Genauigkeit und Effizienz der Waferinspektion steigern und so die Herstellungskosten senken und die Produktqualität verbessern.
Kurzwellige Infrarotlinsen spielen eine entscheidende Rolle bei der Inspektion von Halbleiterwafern. Da kurzwelliges Infrarotlicht Silizium durchdringen kann, ermöglicht diese Eigenschaft kurzwelligen Infrarotlinsen die Erkennung von Defekten in Siliziumwafern. Beispielsweise können Wafer aufgrund von Eigenspannungen während des Produktionsprozesses Risse aufweisen. Bleiben diese Risse unentdeckt, wirken sie sich direkt auf die Ausbeute und die Herstellungskosten des fertigen IC-Chips aus. Durch den Einsatz kurzwelliger Infrarotlinsen lassen sich solche Defekte effektiv erkennen und so die Produktionseffizienz und Produktqualität steigern.
In der Praxis liefern Kurzwellen-Infrarotlinsen kontrastreiche Bilder, die selbst kleinste Defekte deutlich sichtbar machen. Der Einsatz dieser Erkennungstechnologie erhöht nicht nur die Erkennungsgenauigkeit, sondern reduziert auch Kosten und Zeitaufwand der manuellen Erkennung. Laut Marktforschungsbericht steigt die Nachfrage nach Kurzwellen-Infrarotlinsen im Halbleitererkennungsmarkt jährlich und dürfte in den kommenden Jahren stabil wachsen.
Veröffentlichungszeit: 18. November 2024